一、前言

隨著我國半導(dǎo)體、制芯業(yè)的發(fā)展，高純氣體管道的應(yīng)用也越來越廣泛，象半導(dǎo)體、電子、醫(yī)藥、食品等行業(yè)都不同程度的使用了高純氣體管道，因此高純氣體管道的施工對于我們來說也越來越重要。

二、適用范圍

本工藝主要適用于電子、半導(dǎo)體廠房的氣體管道安裝、測試，焊接薄壁不銹鋼氣體管道，同時也適用于醫(yī)藥、食品等廠房的潔凈管道施工。

三、工藝原理

    根據(jù)工程特點，工程的施工前后分為三個步驟，每一步都要經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量和潔凈度檢查，***步是管道的預(yù)制，為保證潔凈要求，管道的預(yù)制一般是在1000級的預(yù)制間內(nèi)進(jìn)行；第二步是現(xiàn)場安裝；第三步是系統(tǒng)的測試，系統(tǒng)測試主要是對管道內(nèi)的塵埃粒子、露點、含氧量、碳?xì)浠�合物的含量進(jìn)行測試。

四、主要施工要點

（一）施工前的準(zhǔn)備

    1、組織勞動力，準(zhǔn)備施工中使用的機(jī)具、設(shè)備。

    2、搭建預(yù)制間，潔凈度1000級。

    3、施工圖分析，根據(jù)工程特點及實際情況編制施工方案，做好技術(shù)交底。

（二）管道預(yù)制

    1、由于高純氣體管道要求的潔凈度較高，為了減少安裝現(xiàn)場的焊接工作量，確保潔凈度，所以管道的施工先在1000級的預(yù)制間中預(yù)制，施工人員應(yīng)穿潔凈服，使用的工機(jī)具應(yīng)保證潔凈，另外施工人員應(yīng)有較強的潔凈意識，施工過程盡量減少對管子的污染。       

     2、管道的下料管道下料使用的是專用的切管工具，切出的端面和管軸心線垂直，切管時應(yīng)采取措施避免外界的灰塵、空氣對管子內(nèi)部的污染，下好的料應(yīng)分組編號以便于組對焊接。       

     3、管道焊接，管道焊接前應(yīng)先編制焊接程序輸入到自動焊機(jī)，試焊樣品，樣品合格后，方能焊接，進(jìn)行完一天的焊接后，再焊樣品，如果樣品合格，由于焊接參數(shù)一直儲存在焊機(jī)里，自動焊機(jī)焊接時又非常穩(wěn)定，所以焊縫質(zhì)量也是合格的。焊接質(zhì)量由微機(jī)控制，減少了由于人為因素對焊接質(zhì)量的影響，既提高了工作效率，又能得到高品質(zhì)的焊縫。

    4、焊接工序

 高純氣體管道施工

（三）現(xiàn)場安裝

1、高純氣體管道的現(xiàn)場安裝應(yīng)整潔干凈，安裝人員必須戴潔凈手套。

2、支架設(shè)置距離應(yīng)符合圖紙設(shè)計要求，每一固定點套上EP管專用的橡膠套。

    3、預(yù)制好的管子運到現(xiàn)場，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，擔(dān)上支架后，立即上管卡。

4、現(xiàn)場的管道焊接和預(yù)制階段管道焊接程序相同。

5、焊接完畢經(jīng)有關(guān)人員對焊口樣品及管道上的焊口檢驗合格后，貼焊口標(biāo)簽，填寫焊接記錄。

（四）系統(tǒng)測試

1、系統(tǒng)檢測是高純氣體施工的***后一環(huán)，它是在管道壓力試驗、吹掃結(jié)束后進(jìn)行。

2、系統(tǒng)測試使用的氣體首先是合格氣體，氣體的潔凈度、含氧量、露點及碳?xì)浠�合物�?yīng)符合要求。

3、指標(biāo)的檢測是通過在管道里充入合格氣體，在出口處用儀器測量，管道里吹出的氣體合格了，說明這條管路指標(biāo)合格了。

五、材料

高純氣體管道按其流通介質(zhì)的工藝要求一般采用薄壁不銹鋼管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有鉻、鎳、鉬三種合金元素，鉻的存在提高了不銹鋼在氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性，形成一層富鉻氧化膜；而鉬的存在則提高了不銹鋼在非氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性；鎳是奧氏體的形成元素，它們的存在既提高了鋼的耐腐蝕性，又提高了鋼的工藝性能。